electron cyclotron resonance chemical vapor deposition Осаждение из парогазовой смеси с использованием СВЧ-плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса.
metalloorganic chemical vapor deposition химическое осаждение из паров металлоорганических соединений, химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений, химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений
metal-organic chemical vapor deposition химическое осаждение из паров металлоорганических соединений, химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений, химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений
modified chemical vapor deposition модифицированное химическое осаждение из паровой фазы, усовершенствованная технология химического осаждения из газовой фазы, усовершенствованная технология химического осаждения из паровой фазы
outside chemical vapor deposition внешнее химическое напыление
photochemical vapor deposition oxide process фотохимическое осаждение оксида из паровой фазы
plasma enhanced chemical vapor deposition плазмохимическое осаждение из паровой фазы, плазмохимическое осаждение из газовой фазы, плазмостимулированное химическое осаждение из паровой фазы
plasma-enhanced low-pressure chemical vapor deposition плазмостимулированное осаждение из паровой фазы при низком давлении
reduced-pressure chemical vapor deposition химическое осаждение из паровой фазы пониженного давления