изоляция кремниевых ИС эпитаксиальным выращиванием при низком давлении
English-Russian Computer Abbreviations dictionary
low-pressure chemical vapor deposition
вакуумное химическое осаждение из газовой фазы, химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении, химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении
English-Russian Computer Abbreviations dictionary
plasma-enhanced low-pressure chemical vapor deposition
плазмостимулированное осаждение из паровой фазы при низком давлении