1. высококачественная КМОП-структура, технология изготовления высококачественных КМОП ИС, технология высококачественных КМОП ИС, высококачественная КМОП ИС 2. КМОП ИС с высокой плотностью упаковки, комплементарная МОП-структура с высокой плотностью упаковки