process validation wafer тестовая пластина для проверки технологического процесса, тестовая пластина для проверки качества технологического процесса
wafer hyper interconnection process метод монтажа и соединения кристаллов на кремниевой подложке (для формирования СБИС)
wafer scale integration интеграция в пределах платы, интеграция в масштабе пластины, интеграция в масштабе целой пластины, интеграция на уровне целых полупроводниковых пластин, СБИС на целой пластине