backside damage gettering геттерирование с помощью нарушенного слоя на обратной стороне пластины, геттерирование с помощью нарушенного слоя на обратной стороне полупроводниковой пластины
backside pumping сдвоенное откачивание (нефти из двух скважин двумя насосами с одним первичным двигателем)