scan electron-beam lithography электронолитография со сканированием, сканирующая электронолитография
scanning electron-beam lithography электронолитография со сканированием, сканирующая электронолитография
soft-contact lithography литография с мягким контактом
step-and-repeat lithography литография с последовательным шаговым экспонированием
step-on-wafer lithography литография с последовательным шаговым экспонированием
submicron lithography литография для формирования элементов субмикронных размеров
ultraviolet lithography литография с использованием ультрафиолетового излучения, ультрафиолетовая литография, УФ-литография, литография с использованием УФ-излучения
UV lithography
wafer-stepping lithography литография с последовательным шаговым экспонированием