submicron electrode separation CCD ПЗС с субмикронным расстоянием между электродами
submicron geometry геометрия ИС с элементами субмикронных размеров
submicron IC ИС с элементами субмикронных размеров
submicron lithography литография для формирования элементов субмикронных размеров
submicron technology субмикронная технология, технология ИС с субмикронными размерами элементов, технология изготовления ИС с субмикронными размерами элементов